Линейка продуктов
Продукты

Продуктовая витрина

Learn More

Оборудование для магнетронного распыления с высоким вакуумом и несколькими мишенями

1. Описание продукции При помощи технологии магнетронного распыления с высоким вакуумом и несколькими магнитными мишенями готовятся твёрдые плёнки, коррозионно-стойкие трениястойкие плёнки, сверхпроводящие плёнки, магнитные плёнки, оптические плёнки, декоративные плёнки, а также различные модифицированные поверхности материалов с особыми функциональными свойствами; 2. Особенности и преимущества оборудования Использование ионного источника анодного слоя повышает степень ионизации, что обеспечивает высокоэффективное и качественное нанесение плёнок; Применение импульсного биас-распыления/этчинга позволяет очищать поверхность заготовки, а также способствует осаждению под воздействием биас-электрического поля. Оборудование оснащено 4 комплектами магнетронных мишеней и 1 ионным источником анодного слоя.

< 1 >